研發(fā)制造臺車式工業(yè)電爐、臺車式熱處理爐 |
退火爐是連續(xù)退火機(jī)組的重要組成部分發(fā)布日期:2021-8-18 類別:公司新聞 瀏覽量: 3409 次 連續(xù)退火是相對罩式退火而言的,連續(xù)退火為帶鋼連續(xù)通過退火爐,退火爐無封口,帶鋼不經(jīng)過停留而直接進(jìn)行卷取的生產(chǎn)方式。 退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計(jì)的?梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。 連續(xù)退火機(jī)組將冷軋帶鋼的清洗、退火、平整、精整等工藝集于一體,與傳統(tǒng)的罩式爐退火工序相比,具有生產(chǎn)周期短、布置緊湊、便于生產(chǎn)管理、勞動生產(chǎn)率高以及產(chǎn)品質(zhì)量優(yōu)異等優(yōu)點(diǎn)。其中,連續(xù)退火爐是連續(xù)退火機(jī)組的重要組成部分。根據(jù)工藝要求,連續(xù)退火爐可分為預(yù)熱段、加熱段、均熱段、緩冷段、快冷段、時(shí)效段和終冷段等爐段。帶鋼依靠爐輥驅(qū)動在爐內(nèi)各個(gè)區(qū)域運(yùn)行時(shí),常會發(fā)生飄曲變形,嚴(yán)重影響了生產(chǎn)的穩(wěn)定性。 連退爐內(nèi)帶鋼飄曲變形實(shí)質(zhì)上是薄板的屈曲和后屈曲變形,已有文獻(xiàn)分別通過實(shí)驗(yàn)、解析法和有限元法等方法對帶鋼娜曲變形進(jìn)行了研究。但目前國內(nèi)外研究帶鋼飄曲變形時(shí),很少考慮爐輥的熱變形,大多采用固定輥形進(jìn)行研究。實(shí)際生產(chǎn)中,帶鋼在連退爐內(nèi)運(yùn)行時(shí),由于爐輥局部與帶鋼接觸,使得爐輥溫度沿輥身方向分布不均勻,終會發(fā)生形狀變化。相關(guān)研究表明:爐輥形狀對帶鋼飄曲變形影響很大,因此研究爐輥熱變形對帶鋼飄曲變形的影響是十分必要的。由于連退爐結(jié)構(gòu)的封閉性和復(fù)雜性。使得實(shí)驗(yàn)法和解析法存在一定局限性,因此,本文作者以某廠連續(xù)退火爐為研究對象,通過有限元計(jì)算方法研究了爐輥熱變形對帶鋼飄曲變形的影響,旨在為選擇合適的爐輥和改善連退爐內(nèi)帶鋼飄曲變形提供理論依據(jù)。 |
Copyright © 2021 臺車爐廠家——安徽大新工業(yè)爐有限公司 All Rights |